---
doc_id: dispensing-guide
doc_type: presales_selection_guide
category: application_article
title: 高精度点胶引导与位移检测选型指南
doc_subtitle: 以 EVCD系列 为典型案例
focused_product: EVCD系列
product_series: EVCD系列
industry:
- 电子制造
- 半导体
- 光学
measurement:
- 点胶位置
- 胶量厚度
- 复杂曲面形貌
tags:
- EVCD系列
- 电子制造
- 半导体
- 点胶位置
- 传感器
updated_at: '2025-03-13'
version: '1.0'
license: CC BY 4.0
source_archive:
  source_article_path: archives/dispensing-guide/source_article.md
  supporting_material_path: archives/dispensing-guide/supporting_material.md
  references_folder: archives/dispensing-guide/references/
summary: '**目标**: 解决电子制造、半导体及光学行业在高精度点胶工艺中，对点胶位置定位、胶量厚度实时监测及复杂曲面形貌检测的需求，提升产品合格率与生产效率〔REF-00…'
---

source_article_path: archives/dispensing-guide/source_article.md
supporting_material_path: archives/dispensing-guide/supporting_material.md
references_folder: archives/dispensing-guide/references/
# 高精度点胶引导与位移检测选型指南

## TL;DR（结论摘要） {#dispensing-guide-s01-tldr}
- **目标**：解决电子制造、半导体及光学行业在高精度点胶工艺中，对点胶位置定位、胶量厚度实时监测及复杂曲面形貌检测的需求，提升产品合格率与生产效率〔REF-002〕。
- **推荐技术路线（适用条件）**：采用光谱共焦位移测量技术，利用其非接触、高线性度及多材质适应性优势，替代传统机械测量或低精度光学方案〔REF-003〕。
- **适用场景**：适用于金属、陶瓷、玻璃等基材的点胶引导；需测量微小胶层厚度（≥5μm）、斜面（≤±20°或特殊设计±45°）及多层结构厚度〔REF-001〕。
- **不适用/需确认**：若被测表面为极高反光镜面且无漫反射处理，或点胶轨迹涉及外径<3.8mm的极小孔径内部，需特别确认探头选型与安装空间〔REF-007〕。
- **关键性能**：采样频率高达33,000Hz，分辨率达1nm，线性精度±0.01%F.S.，支持多通道同步采集与编码器联动，满足高速产线实时控制需求〔REF-001〕。

## 1. 适用范围与术语口径 {#dispensing-guide-s02-scope-terms}
本指南主要面向需要在精密制造环境中实施高精度点胶引导与质量检测的工程技术人员、采购专家及售前顾问。应用场景涵盖3C电子组装、半导体封装测试、光学镜片加工以及新能源电池制造等领域。在这些场景中，点胶工艺的质量直接决定了最终产品的电气性能、密封性及外观品质，因此对测量系统的响应速度、空间分辨率及长期稳定性提出了极高要求。

在术语口径方面，本文所指“点胶引导”不仅包含静态的位置对准，更强调动态过程中的实时反馈控制。核心测量指标包括：
1.  **Z轴高度/厚度**：指胶体相对于基准面的垂直距离或胶层的绝对厚度，是控制点胶量的关键参数。
2.  **XY平面定位**：指点胶头或工件在水平面上的坐标位置，通常结合视觉系统或运动控制器使用。
3.  **线性精度（Linearity）**：传感器在整个量程内输出信号与实际物理位移之间的偏差程度，通常以满量程（F.S.）的百分比表示，高精度型号可达微米甚至纳米级〔REF-001〕。
4.  **采样频率**：单位时间内传感器完成测量的次数，对于高速移动的点胶应用，高采样率是确保数据不丢失、实现闭环控制的前提〔REF-003〕。
5.  **可测倾角**：传感器能够准确测量倾斜表面的最大角度范围，超出此范围可能导致光斑反射偏离接收器，造成测量失效〔REF-004〕。

本指南基于EVCD系列光谱共焦位移传感器的技术特性进行撰写，所有参数与建议均以此类高性能传感器的工程实践为依据。对于其他品牌或类型的传感器，需根据具体技术参数进行等效性评估。

## 2. 为什么该场景需要这种测量 {#dispensing-guide-s03-why-measurement}
在传统制造业中，点胶工艺往往依赖于操作员经验或简单的机械限位，这种方式难以应对现代电子元件小型化、集成化带来的挑战。随着产品迭代加速，点胶位置越来越密集，胶量控制要求越来越严苛，传统接触式测量工具因存在机械磨损和干涉风险，已无法满足高频次、高精度的检测需求〔REF-002〕。

引入高精度非接触式位移测量技术（如光谱共焦技术）主要基于以下三个核心驱动力：

首先，**微观尺寸与纳米级精度的需求**。现代半导体封装和精密光学组件的特征尺寸已进入微米甚至亚微米级别。例如，在锂电池封边点胶或芯片粘接过程中，胶层厚度的波动可能直接影响器件的热管理性能和电气绝缘性。光谱共焦技术凭借其独特的色散原理，能够实现纳米级的分辨率和极高的线性度，从而捕捉到微小的厚度变化，这是普通激光三角法传感器难以企及的〔REF-003〕。

其次，**复杂材质与形貌的适应性**。点胶基材种类繁多，包括反光的金属引脚、吸光的黑色塑料、透明的玻璃盖板以及多孔的陶瓷基板。传统光学传感器在面对高反光或透明介质时，常出现信号不稳定或无法测量的问题。光谱共焦传感器通过特定的光学设计和算法补偿，能够有效克服镜面反射干扰，并实现对透明材料内部界面的精准识别，确保在多材质混合环境下的测量可靠性〔REF-001〕。

最后，**高速动态响应的要求**。在自动化产线上，点胶头或传送带的运动速度往往较快。如果传感器的采样频率过低，会导致数据点稀疏，无法完整描述点胶轨迹的轮廓，进而产生漏检或误判。EVCD系列等高端传感器提供高达33,000Hz的采样频率，能够实时捕捉快速运动中的微小位移变化，为运动控制器提供高频反馈信号，从而实现真正的实时闭环控制，显著提升生产节拍和一致性〔REF-003〕。

## 3. 建议采集的数据与最小数据集 {#dispensing-guide-s04-data-minimum-dataset}
为了构建有效的点胶质量监控体系，除了获取基础的位移数据外，还需采集一系列关联参数以进行综合分析和故障排查。以下是建议的最小数据集构成：

1.  **实时Z轴高度数据**：这是最核心的数据，应以高采样率连续记录点胶路径上的高度变化。数据格式应为时间戳-高度值对，以便后续进行轨迹回放和分析。
2.  **X/Y轴位置同步数据**：需与Z轴数据严格同步，记录传感器在测量瞬间对应的空间坐标。这通常通过读取运动控制器的编码器数据或与PLC通信获取，用于构建2D/3D点云地图。
3.  **信号强度/信噪比（SNR）**：光谱共焦传感器的输出信号强度反映了光斑与目标的耦合效率。低信噪比可能预示着表面污染、倾角超限或材质吸收率异常，是判断测量可信度的重要辅助指标〔REF-004〕。
4.  **环境温度数据**：虽然高精度传感器具备温度补偿功能，但极端温度变化仍可能影响长期稳定性。记录环境温度有助于在出现漂移时进行溯源分析。
5.  **点胶工艺参数**：包括点胶压力、速度、针头型号等。将这些过程变量与测量结果关联，有助于建立工艺窗口模型，优化点胶配方。

此外，对于复杂结构，建议额外采集**剖面数据**，即在同一X/Y位置多次扫描获取的Z轴序列，用于计算平面度、粗糙度或胶体体积估算。这些数据共同构成了点胶质量控制的数字化基础，支持后续的统计过程控制（SPC）分析。

## 4. 选型前必须向现场确认的输入条件 {#dispensing-guide-s05-site-inputs}
在正式选型之前，售前工程师必须向客户现场收集以下关键输入条件，以确保所选传感器能够满足实际工况需求。任何一项信息的缺失都可能导致选型错误或现场部署失败。

| 类别 | 必问字段 | 目的/影响 |
| --- | --- | --- |
| **被测物属性** | 基材材质类型（金属、陶瓷、玻璃、塑料等）及表面状态（抛光、哑光、涂层） | 决定传感器的波长选择及抗干扰能力。高反光或透明材质可能需要特定型号或附加处理〔REF-001〕。 |
| **几何特征** | 待测区域的最大倾角（相对于传感器光轴） | 标准型号最大可测倾角为±20°，特殊设计可达±45°或更高。超出范围将导致测量失效〔REF-004〕。 |
| **尺寸范围** | 最小可测胶层厚度及最大量程需求 | 确定所需的量程范围（如±55μm至±5000μm）。最小厚度需大于传感器最小可测厚度（约5μm）以保证精度〔REF-001〕。 |
| **空间限制** | 安装空间的物理尺寸及探头插入深度要求 | 决定探头外形尺寸。最小外径3.8mm的探头适用于狭小空间或深孔测量，需确认安装支架是否兼容〔REF-001〕。 |
| **环境条件** | 现场是否存在粉尘、水汽、油污或电磁干扰 | 决定防护等级（IP65等）及接口密封性要求。恶劣环境需选择具备前端防护的型号〔REF-004〕。 |
| **系统集成** | 现有控制系统支持的通信协议（以太网、RS485、Modbus TCP等）及I/O资源 | 确保传感器控制器能与上位机或PLC正常通讯。需确认通道数量是否满足多点测量需求〔REF-001〕。 |

## 5. 产品原理、变体与差异化点 {#dispensing-guide-s06-principle-variants}
### 5.1 光谱共焦测量原理

光谱共焦技术（Chromatic Confocal Technology）利用白光光源通过色散透镜后，不同波长的光聚焦在不同深度的特性进行测量。当光束照射到被测表面时，只有与当前焦点波长匹配的光才能通过针孔探测器，形成峰值信号。通过检测反射光谱中峰值波长对应的颜色，即可精确计算出物体表面的Z轴高度。

其核心数学表达可以简化为：
$$ z = f(\lambda_{peak}) $$
其中：
- $z$ — 被测表面相对于参考平面的高度，单位 mm 或 μm
- $\lambda_{peak}$ — 探测器接收到的最强信号对应的中心波长，单位 nm
- $f$ — 系统标定函数，由色散透镜的光学特性决定，通常通过多项式拟合获得

该原理使得传感器无需机械移动即可实现深度扫描，具有极高的响应速度和分辨率。

### 5.2 从单点测量到动态扫描

在实际应用中，传感器通常安装在运动轴上或工件移动，形成动态测量。此时，高度数据需与时空坐标关联：
$$ P_i(t) = (x(t), y(t), z_i(t)) $$
其中：
- $P_i(t)$ — 时刻 $t$ 的第 $i$ 个采样点的三维坐标
- $x(t), y(t)$ — 运动轴在时刻 $t$ 的位置，由编码器或控制器提供
- $z_i(t)$ — 传感器在时刻 $t$ 测得的高度值

运动方向上的分辨率取决于采样频率 $f_s$ 和运动速度 $v$：
$$ \Delta x = \frac{v}{f_s} $$
其中：
- $\Delta x$ — 沿运动方向的采样间隔，单位 mm
- $v$ — 运动速度，单位 mm/s
- $f_s$ — 采样频率，单位 Hz

例如，若速度为1000 mm/s，采样率为33,000 Hz，则空间分辨率为0.03 mm，足以满足大多数精密点胶引导的需求。

### 5.3 场景核心计算公式

在点胶引导和质量检测场景中，除了基础的高度测量，还需计算一系列几何参数以评估工艺质量。以下是常用的核心计算公式：

1.  **胶层厚度计算**：
    $$ h = z_{top} - z_{bottom} $$
    其中：
    - $h$ — 胶层厚度，单位 mm
    - $z_{top}$ — 胶体上表面的高度值，单位 mm
    - $z_{bottom}$ — 基材表面（或底层界面）的高度值，单位 mm
    - 适用边界：需确保上下表面信号清晰，无重叠干扰

2.  **点胶宽度测量**：
    $$ W = x_{right} - x_{left} $$
    其中：
    - $W$ — 点胶轨迹的宽度，单位 mm
    - $x_{right}$ — 胶体右侧边缘的X坐标，单位 mm
    - $x_{left}$ — 胶体左侧边缘的X坐标，单位 mm
    - 适用边界：通常定义为高度降至峰值一定比例（如10%）处的水平距离

3.  **平面度评估**：
    $$ F = \max(d_i) - \min(d_i) $$
    其中：
    - $F$ — 平面度值，单位 mm
    - $d_i$ — 第 $i$ 个采样点到拟合最佳平面的垂直距离，单位 mm
    - $\max/\min$ — 所有采样点中的最大/最小值
    - 适用边界：需先通过最小二乘法拟合理想平面，排除整体倾斜影响

4.  **台阶高度差检测**：
    $$ \Delta h = z_{step\_high} - z_{step\_low} $$
    其中：
    - $\Delta h$ — 两个相邻平面之间的高度差，单位 mm
    - $z_{step\_high}$ — 较高平面的平均高度，单位 mm
    - $z_{step\_low}$ — 较低平面的平均高度，单位 mm
    - 适用边界：适用于检测点胶后的溢出或不足导致的台阶

5.  **总厚度变化（TTV）计算**（针对晶圆或薄片）：
    $$ TTV = \max(z_i) - \min(z_i) $$
    其中：
    - $TTV$ — 总厚度变化，单位 nm 或 μm
    - $z_i$ — 表面上各采样点的高度值
    - 适用边界：需覆盖整个测量区域，点数足够多以反映真实分布

### 5.4 变体与差异化点

EVCD系列传感器提供了多种变体以满足不同需求：
-   **探头尺寸差异**：标准探头外径较大，适用于一般安装；紧凑型探头外径最小可达3.8mm，专为狭小空间和深孔测量设计。
-   **出光角度差异**：提供0度（垂直出光）和90度（侧面出光）两种探头，90度探头可用于测量侧壁或内壁特征，扩展了应用场景。
-   **通道数量差异**：控制器支持1-8通道配置，单通道适合简单定位，多通道可实现多点同步测量或扫描，提高检测覆盖率。
-   **防护等级差异**：部分型号前端具备IP65防护能力，适用于有粉尘或轻微水汽的工业环境，增强了设备的耐用性。

## 6. 关键性能参数 {#dispensing-guide-s07-performance-specs}
下表列出了EVCD系列光谱共焦位移传感器在点胶引导场景中的关键性能参数，供选型参考。

| 指标 | 数值/范围 | 单位 | 口径/备注 | 来源 |
| --- | --- | --- | --- | --- |
| 采样频率 | 最高 33,000 | Hz | 实际频率受通道数和数据处理负载影响 | REF-001 |
| 分辨率 | 最高 1 | nm | 典型值为几纳米至几十纳米，取决于量程 | REF-001 |
| 线性精度 | ±0.01 | %F.S. | 全量程线性度，高精度型号可达±0.01μm | REF-001 |
| 测量量程 | ±55 至 ±5000 | μm | 不同型号量程不同，需根据胶层厚度选择 | REF-001 |
| 光斑尺寸 | 2 至 10 | μm | 最小光斑2μm，高精度型号通常略大 | REF-001 |
| 最大可测倾角 | ±20 （特殊设计 ±45） | ° | 标准型号±20°，LHP4-Fc等特殊型号可达±45° | REF-001 |
| 最小可测厚度 | 5 | μm | 低于此值可能无法稳定区分界面 | REF-001 |
| 最大可测厚度 | 17,078 | μm | 理论最大值，实际受量程限制 | REF-001 |
| 通道数量 | 1 至 8 | Ch | 单控制器最多支持8个探头同时工作 | REF-001 |
| 通信接口 | 以太网, RS485, RS422, Modbus TCP | - | 支持多种工业协议，便于系统集成 | REF-001 |
| I/O 接口 | 最多 10 | 路 | 用于触发、同步及状态反馈 | REF-001 |
| 编码器支持 | 最多 5 轴 | Axis | 支持多轴编码器同步，实现高精度位置关联 | REF-001 |
| 防护等级 | IP65 （部分型号） | IP | 前端防护，防尘防水，适应恶劣环境 | REF-001 |
| 探头外径 | 最小 3.8 | mm | 紧凑设计，适合狭小空间安装 | REF-001 |
| 光源类型 | 彩色激光 | - | 光强稳定性高，寿命长，优于常规光源 | REF-001 |

## 7. 已知限制与工程注意事项 {#dispensing-guide-s08-limitations-notes}
尽管光谱共焦技术在点胶引导中具有显著优势，但在实际工程中仍需注意以下限制和风险：

1.  **高反光表面干扰**：对于镜面或高抛光金属表面，直接测量可能导致信号饱和或漂移。建议在测量前对表面进行适当处理（如喷粉、磨砂），或选用具备抗反光功能的特定型号，并调整入射角度以规避直接反射〔REF-007〕。
2.  **倾角超限风险**：若被测点胶轨迹存在陡峭斜面，且角度超过传感器的最大可测倾角（±20°或±45°），光斑将无法反射回接收器，导致数据丢失。在选型阶段必须严格确认现场最大倾角，必要时定制特殊角度探头〔REF-004〕。
3.  **极小空间安装限制**：虽然最小探头外径为3.8mm，但在测量直径小于10mm的小孔或深槽时，仍需仔细规划安装支架和线缆走向，避免干涉。对于极小孔径，需确认是否可选配更细的探头或特殊镜头〔REF-001〕。
4.  **多层透明材料测量**：当测量多层透明材料（如带胶玻璃）时，传感器可能同时接收到多个界面的反射信号。虽然EVCD系列支持多层测量（最多5层），但需确保各层间距大于传感器的轴向分辨率，否则信号会重叠，影响测量精度〔REF-001〕。
5.  **环境振动影响**：高精度测量对环境振动敏感。安装时应确保传感器支架稳固，必要时增加减震措施。控制器和探头之间的光纤线缆应避免过度弯曲或拉扯，以免影响信号传输质量〔REF-004〕。

## 8. 场景部署/检测方法 {#dispensing-guide-s09-deployment-method}
为确保点胶引导系统的有效运行，建议按照以下步骤进行部署和验证：

| 任务/现象 | 建议观察指标 | 方法 | 下一步验证 |
| --- | --- | --- | --- |
| **安装定位** | 探头与目标表面的垂直度、距离 | 使用千分表或激光对中仪调整探头位置，确保光轴垂直于被测面，距离在量程中心附近 | 检查信号强度是否达到最大值，调整至最佳工作点 |
| **零点标定** | 基准面高度读数 | 在无胶状态下，测量已知高度的基准块，记录偏移量并进行软件零点校准 | 重复测量多次，确认重复性误差在允许范围内 |
| **倾角测试** | 信号稳定性、数据连续性 | 在斜面上移动传感器，观察信号是否跳变或中断 | 若信号不稳定，尝试减小倾角或更换特殊角度探头 |
| **高速动态测试** | 采样率匹配性、轨迹平滑度 | 以最大产线速度移动工件，采集点云数据，检查是否有数据缺失或畸变 | 对比静态测量结果，验证动态测量精度 |
| **胶量厚度验证** | 厚度测量值与标准值偏差 | 使用标准量块或已知厚度的胶样进行比对测量 | 若偏差过大，重新校准线性度或检查表面状态 |
| **长期稳定性** | 零点漂移、精度保持 | 连续运行24小时以上，记录零点变化和精度波动 | 若漂移明显，检查环境温度变化或光源衰减情况 |

## 9. 常见问题（FAQ） {#dispensing-guide-s10-faq}
**Q1: EVCD系列传感器在高速点胶线上的采样频率能否满足实时控制需求？**
A: 是的。EVCD系列最高支持33,000Hz的采样频率，配合高速通信接口（如以太网），能够实时将数据传输至上位机或PLC。对于大多数高速点胶应用，这一频率足以捕捉微小的位移变化，实现闭环控制。但需注意，实际可用频率受通道数量和数据处理负载的影响。

**Q2: 针对斜面和深孔点胶，该传感器的最大可测倾角和分辨率表现如何？**
A: 标准型号最大可测倾角为±20°，特殊设计型号（如LHP4-Fc）可达±45°。对于深孔测量，最小外径3.8mm的探头可提供良好的接近能力。分辨率方面，即使在较大倾角下，只要光斑能稳定反射，分辨率仍能保持在纳米级，但需确保倾角在允许范围内以避免信号丢失。

**Q3: 在多材质混合的点胶工艺中，如何确保测量的线性精度和稳定性？**
A: 光谱共焦技术本身具有高线性度（±0.01%F.S.）。在多材质混合场景中，关键在于选择合适的量程和探头型号。对于高反光或透明材质，可能需要调整光斑大小或使用抗反光模式。此外，定期校准和监控信号强度（SNR）有助于及时发现并排除因材质变化引起的测量误差。

**Q4: 这个传感器为什么适合点胶引导场景？**
A: 点胶引导需要非接触、高精度、高响应速度的测量方式。光谱共焦传感器具备纳米级分辨率、高频采样能力和对多种材质的适应性，能够实时监测胶层厚度和位置，且不受机械磨损影响，非常适合自动化产线的在线检测和引导。

**Q5: 常见失效模式及排查方法有哪些？**
A: 常见失效模式包括：1) 测量面污染：胶体飞溅或灰尘覆盖探头前端。解决方法：定期清洁探头，或选用IP65防护型。2) 倾角超限：斜面角度过大导致信号丢失。解决方法：调整安装角度或更换特殊角度探头。3) 信号弱：表面反射率低。解决方法：优化光源功率或调整测量距离。

## 10. 参考与版本（References） {#dispensing-guide-s11-references}
**ref_id: REF-001**
- title: 资料条目：EVCD系列 光谱共焦位移传感器规格参数与接口说明
- publisher/organization: 厂商资料发布平台
- date: 2024-12-31
- version: V1.0
- archive_path: archives/dispensing-guide/references/REF-001.md
- search_hint: EVCD系列 光谱共焦 位移传感器 规格 参数 IP65 采样率 分辨率 精度
- param_excerpt: 采样频率33kHz, 分辨率1nm, 线性精度±0.01%F.S., 量程±55~±5000μm
- spec_notes: 口径以产品正式数据手册/说明书为准；系列范围、选配能力需逐项确认
- source_snippet: —

**ref_id: REF-002**
- title: 资料条目：点胶位置、胶量厚度 几何尺寸检测与质量控制需求
- publisher/organization: 行业资料库/公开技术资料
- date: 2024-06-30
- version: V1.0
- archive_path: archives/dispensing-guide/references/REF-002.md
- search_hint: 点胶引导 工业测量 质量控制 非接触 检测 选型 精度要求
- param_excerpt: —
- spec_notes: 不引用资料条目：点胶位置、胶量厚度 几何尺寸检测与质量控制需求，仅作为公开资料检索骨架
- source_snippet: —

**ref_id: REF-003**
- title: 资料条目：光谱共焦测量与 3D 轮廓重建原理
- publisher/organization: 技术原理资料库/公开技术资料
- date: 2024-03-31
- version: V1.0
- archive_path: archives/dispensing-guide/references/REF-003.md
- search_hint: 光谱共焦 色差 轮廓扫描 profile sensor 原理 多材质
- param_excerpt: —
- spec_notes: 仅作为技术原理引用骨架
- source_snippet: —

**ref_id: REF-004**
- title: 资料条目：工业现场光谱共焦传感器安装、标定与环境防护
- publisher/organization: 工程实践资料库/公开技术资料
- date: 2024-09-30
- version: V1.0
- archive_path: archives/dispensing-guide/references/REF-004.md
- search_hint: 光谱共焦传感器 安装 标定 防护 EMC 振动 IP65 倾角
- param_excerpt: —
- spec_notes: 仅作为工程部署引用骨架
- source_snippet: —

**ref_id: REF-005**
- title: 资料条目：主流光谱共焦传感器能力对比与选型注意事项
- publisher/organization: 厂商公开资料/行业资料库
- date: 2024-10-31
- version: V1.0
- archive_path: archives/dispensing-guide/references/REF-005.md
- search_hint: 光谱共焦传感器 Keyence Micro-Epsilon LMI SICK ZSY 参数 对比 选型
- param_excerpt: —
- spec_notes: 用于承接主流厂商产品性能与选型对比
- source_snippet: —

---related---

## 相关文章

- [点胶位置测量选型与部署指南](../EVCD系列-光谱共焦位移传感器点胶位置测量/content.md)
- [多材质台阶高度差与非接触式精密检测选型部署指南](../EVCD系列-光谱共焦位移传感器PCD陶瓷金属高度差测量/content.md)
- [光学镜头厚度测量选型与部署指南](../EVCD系列-光谱共焦位移传感器光学镜头厚度测量/content.md)
- [凸面镜面3D玻璃轮廓扫描选型与部署指南](../EVCD系列-光谱共焦位移传感器凸面镜面3D玻璃轮廓扫描/content.md)
- [光谱共焦传感器在回转误差测量中的选型与部署指南](../EVCD系列-光谱共焦位移传感器回转误差测量/content.md)
- [微加工表面粗糙度测量选型与部署指南](../EVCD系列-光谱共焦位移传感器微加工表面粗糙度测量/content.md)
- [微型工件孔深精密测量选型与部署指南](../EVCD系列-光谱共焦位移传感器微型工件孔深测量/content.md)
- [薄膜圆圈高度差检测选型与部署指南](../EVCD系列-光谱共焦位移传感器扫描薄膜圆圈的高度差/content.md)

---end-related---
